Độ chính xác của kính hiển vi điện tử và kính hiển vi quang học thay đổi tùy thuộc vào loại và thiết kế, như sau:
Độ chính xác của kính hiển vi điện tử
Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM): Hiện nay, độ chính xác phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua đã có thể phân giải các cấu trúc dưới 0,2μm, và độ phân giải giới hạn cực có thể đạt tới 0,1nm. Ví dụ, một số kính hiển vi điện tử truyền qua tốt có độ phân giải từ 1,5 đến 2A (1A = 0,1nm), có thể phân giải gần như tất cả các nguyên tử.
Kính hiển vi điện tử quét (SEM): Độ phân giải không gian thường đạt được là 1μm³, mặc dù độ chính xác có thể thay đổi tùy thuộc vào loại thiết bị và điều kiện quan sát.
Độ chính xác của kính hiển vi quang học
Kính hiển vi quang học thông thường: độ phân giải giới hạn của nó thường vào khoảng 250nm, cao hơn 1 triệu lần so với độ phân giải của mắt người (0,25mm). Tuy nhiên, độ phân giải và độ phóng đại của kính hiển vi quang học có thể được cải thiện đáng kể bằng cách sử dụng các thấu kính có độ chính xác cao và các kỹ thuật quang học.
Kính hiển vi quang học độ chính xác cao: ví dụ như kính hiển vi kỹ thuật số quang học, độ chính xác phân giải của nó có thể đạt tới 0,1μm, độ phóng đại lên đến 5000 lần. Ngoài ra, còn có các thiết bị phân tích độ chính xác cao dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng như kính hiển vi quang học ba chiều, có thể thực hiện phép đo địa hình bề mặt với độ phân giải dưới nanomet.
Kính hiển vi quang học đặc biệt: chẳng hạn như kính hiển vi nano quang học với độ chính xác định vị 2nm, ví dụ như công nghệ MINFLUX, đánh dấu sự kiện kính hiển vi độ phân giải nano chính thức bước vào lĩnh vực nghiên cứu khoa học sự sống.
Thời gian đăng bài: 01/11/2025